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- 모스 소자, -素子, Metal Oxide Semiconductor element, MOS element
- 일반의 반도체 장치가 p형과 n형의 접합층을 이용하는 것에 대해 금속(metal)과 반도체(semiconductor) 사이에 규소 산화물(oxide) 등의 매우 얇은 절연층을 끼워서 만든 것. 전계 효과 트랜지스터(FET) 등을 만들 수 있다.